(2)IMT公司在微流控MEMS工艺方面的经验:Innovative Micro Technology 中国区总经理 Joseph Luo
Joseph Luo分享了IMT公司的开放式MEMS代工服务及在微流控工艺方面的经验。作为美国最大的纯MEMS代工厂,IMT拥有近15年的MEMS工艺开发经验,客户案例超过350项,其中有50种微流控器件,包括微泵、微阀、微通道和流体传感器。凭借专业的微流控设计经验和模型建立,解决客户定制化需求。IMT除了现有的一条6寸线,还在建设一条8寸线,以满足更多客户的量产需求。最后,为了方便大家理解微阀门工作原理,Joseph Luo给大家播放了一段微泵运行视频。
Joseph Luo现场解答听众提问
(3)Silex Microsystems在医疗与生物MEMS方面的工艺能力与量产经验:Silex Microsystems 中国区代表 覃裕平
(2)IMT公司在微流控MEMS工艺方面的经验:Innovative Micro Technology 中国区总经理 Joseph Luo
Joseph Luo分享了IMT公司的开放式MEMS代工服务及在微流控工艺方面的经验。作为美国最大的纯MEMS代工厂,IMT拥有近15年的MEMS工艺开发经验,客户案例超过350项,其中有50种微流控器件,包括微泵、微阀、微通道和流体传感器。凭借专业的微流控设计经验和模型建立,解决客户定制化需求。IMT除了现有的一条6寸线,还在建设一条8寸线,以满足更多客户的量产需求。最后,为了方便大家理解微阀门工作原理,Joseph Luo给大家播放了一段微泵运行视频。
Joseph Luo现场解答听众提问
(3)Silex Microsystems在医疗与生物MEMS方面的工艺能力与量产经验:Silex Microsystems 中国区代表 覃裕平